„Nikon“ kompanija pristatė du naujus skenerius, skirtus taikyti „sausus“ litografinius metodus puslaidininkių gamyboje. Viename iš jų, „NSR-S310F“, naudojamas argono fluoro lazeris su 193 nm bangos ilgiu, o įrenginys gali gaminti 65 nm ir mažesnius lustus. Gamybos apimtis – ne mažiau 174 plokštelių per valandą, o tai 20% viršija ankstesnės kartos įrenginio galimybes. Įrenginio gamybos tikslumas –7 nm.
„NSR-S210D“ skeneris veikia KrF – kriptono fluoro pagrindu (bangos ilgis – 248 nm). Šis instrumentas gali būti naudojamas 110 nm ir mažesnių lustų gamyboje, gamybos tikslumas – 9 nm, o našumas – ne mažiau 176 plokštelių per valandą. Abu modeliai sukurti naudojimui kartu su kitais įvairių tipų „Nikon“ gaminamais skeneriais, taip pat priklausančiais „Tandem Stage“ platformai.
Paieška archyve
