Masačusetso technologijos instituto mokslininkai sukūrė miniatiūrinį garo variklį, kurio dydis vos siekia nedidelės monetos dydį. Šį mikromechanizmą sudaro šeši tarpusavyje sutvirtinti silicio pagrindai. Kiekvienas pagrindas yra kristalas. Reikalingų detalių gamybai mokslininkai naudojo ėsdinimo technologiją.
Tokius komponentus gaminti po vieną, kiekvienam skiriant po technologinį etapą yra gana brangu. Žymiai pigiau yra pagaminti 60-100 tokių komponentų viename pagrinde, kuris vėliau supjaustomas į atskiras dalis, atitinkančias komponentų išmatavimus. Turbinos mentelės, pagamintos iš ypatingai atsparių medžiagų, gali suktis 20000 kartų per sekundę, ir tai yra 100 kartų daugiau nei šiuolaikiniuose reaktyviniuose varikliuose. Tokio generatoriaus galingumas yra 10 W. Generatoriaus aušinimas vykdomas naudojant suspaustą orą.
Kiekvienas komponentas jau yra sėkmingai pagamintas ir ištestuotas, tačiau viską surinkti ir paleisti sinchroniniu režimu kol kas dar nepavyko. Mokslininkai tikisi suspėti tai padaryti iki metų pabaigos. Tokiu būdu greitai mes galime tapti naujo tipo maitinimo įrenginio liudininkais, kuris leis sukurti ir puikius naujus nešiojamus įrenginius.